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真空爐常用真空儀表主要有兩大類:一是真空測(cè)量儀表,也稱真空計(jì);二是真空系統(tǒng)供氣流量儀表,也稱氣體流量計(jì)。
1.真空測(cè)量儀表
(1)靜態(tài)變形真空計(jì)(也稱彈性元件真空計(jì)) 利用與真空相連的容器表面受到大氣的作用,以產(chǎn)生彈性變形來測(cè)量壓強(qiáng)。
(2)靜態(tài)液位真空計(jì) 利用u形管兩端的液面差來測(cè)量壓強(qiáng)。
(3)壓縮式真空計(jì) 其原理是在U形管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用u形管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。
(4)熱傳導(dǎo)真空計(jì)利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。
(5)熱輻射真空計(jì)利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理制成。
(6)電離真空計(jì)利用低壓下氣體分子被熱粒子碰撞而電離,產(chǎn)生的離子流隨壓強(qiáng)而變化的原理制成,如熱陰極電離真空汁、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。
(7)放電管指示器利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般僅能作為定性測(cè)量。
(8)其他真空計(jì)有振膜式真空計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)、場(chǎng)致顯微儀、四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。
2.真空系統(tǒng)供氣流量儀表
(1)氣體流量計(jì) 用真空爐進(jìn)行滲碳、滲氮等化學(xué)熱處理工藝時(shí),需要向真空室內(nèi)輸入氣體或液體滲劑,通常使用轉(zhuǎn)子流量計(jì)檢測(cè)與控制流量。
(2)真空針閥 真空微調(diào)閥用來調(diào)節(jié)進(jìn)入真空室內(nèi)的氣體或液體介質(zhì)的流量,閥體通常必須用不銹鋼制造。
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