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熱壓燒結(jié)爐的三個(gè)常見(jiàn)故障及其排除方法:
1、冷卻水故障
?。?)燒結(jié)爐正常運(yùn)行時(shí),冷卻水溫度應(yīng)控制在15℃至25℃之間。當(dāng)冷卻水溫度超過(guò)25℃但低于30℃時(shí),出水溫度也會(huì)升高。為了確保硅片出口溫度不超過(guò)40℃,此時(shí)必須增加冷卻水的流量。當(dāng)溫度超過(guò)30℃時(shí),必須立即通知上一工序,停止硅片流入燒結(jié)爐。
?。?)如果燒結(jié)爐正常工作時(shí)沒(méi)有冷卻水,設(shè)備將自動(dòng)停止并觸發(fā)報(bào)警。此時(shí),移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過(guò)程。當(dāng)有冷卻水時(shí),啟動(dòng)設(shè)備,取出爐中的硅片。然后按照正常加熱步驟升高溫度以恢復(fù)生產(chǎn)。
?。?)當(dāng)燒結(jié)爐正常工作時(shí),冷卻水流量突然降低,設(shè)備將自動(dòng)停止運(yùn)行,并觸發(fā)報(bào)警。此時(shí),首先移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過(guò)程。
2、電源故障
燒結(jié)爐正常運(yùn)行過(guò)程中突然停電,應(yīng)立即打開(kāi)電源控制柜,確認(rèn)是外部停電還是內(nèi)部停電。如果外部電源故障,應(yīng)立即關(guān)閉主電源開(kāi)關(guān),并清除進(jìn)出口傳送帶上的硅片。通電后,應(yīng)從設(shè)備PC下載冷卻過(guò)程,打開(kāi)設(shè)備,取出爐內(nèi)的硅片,然后按照正常啟動(dòng)加熱步驟加熱,恢復(fù)生產(chǎn)。
3、壓縮空氣(CDA)故障
當(dāng)燒結(jié)爐正常工作時(shí),壓縮空氣流量突然降低,設(shè)備將自動(dòng)停止運(yùn)行,并觸發(fā)報(bào)警。此時(shí),首先移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過(guò)程??赡艿脑蚴橇髁坑?jì)故障或入口壓縮空氣壓力低。處理方法是更換流量計(jì)、減壓閥或通知設(shè)備中心相關(guān)人員增加壓縮空氣壓力。故障排除后,啟動(dòng)設(shè)備,取出爐內(nèi)的硅片,然后按照正常加熱步驟加熱,恢復(fù)生產(chǎn)。
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