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使用小貼士:真空燒結(jié)爐的日常應(yīng)急策略

更新時間:2022-01-20 16:39:54      點擊次數(shù):1790

    真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。但是,在日常使用時,它的應(yīng)急措施我們一定的了解!
  一、冷卻水異常
  1、確認(rèn)加熱電源已停止。
  2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。
  3、冷卻水發(fā)生異常時,設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
  4、在高溫時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
  二、真空燒結(jié)爐壓縮空氣的停止
  1、壓縮空氣異常報警時,設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),應(yīng)盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復(fù)工作。
  2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復(fù)需要較長時間時,則終止真空,讓設(shè)備停下來。
  三、停電
  1、停電時,如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將設(shè)備保持原狀。
  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
  四、加熱電源掉電
  1、水壓低,壓力表報警。
  2、接地故障。
  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
  4、電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
  五、真空燒結(jié)爐真空室壓力惡化
  1、真空排氣時間比通常長時,應(yīng)把設(shè)備停下來進行檢查,根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導(dǎo)致壓力升高的情況。
  2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
   

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