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真空壓力燒結(jié)爐具有熱壓燒結(jié)、無壓燒結(jié)、真空燒結(jié)、氣氛保護燒結(jié)功能,但是在使用中避免不了出現(xiàn)問題的,下面我們來看下使用中常見的問題有哪些?具體又是怎么解決的,我們來看下:
真空壓力燒結(jié)爐正常工作時突然出現(xiàn)現(xiàn)停電故障,應立即打開電源控制柜確認是外部停電故障,還是設(shè)備內(nèi)部電源故障。如果是外部停電故障應立即關(guān)閉總電源開關(guān),并取下進口和出口傳送帶上的硅片。真空壓力燒結(jié)爐正常工作時突然無冷卻水,設(shè)備會自動停止運轉(zhuǎn),同時警報被觸發(fā)。此時應取下進口和出口傳送帶上的硅片,在設(shè)備PC上下載冷卻工藝。清潔完傳送帶后設(shè)備無法開啟可以真空壓力燒結(jié)爐進口和出口處的緊急停止開關(guān)被按下,拔出緊急停止開關(guān)即可解除機械鎖定。
另外真空壓力燒結(jié)爐在平時的使用中要做好檢查的工作,以免在使用時不能正常地使用。
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